不能錯過的絕佳亮點

憑藉技術創新與卓越的商業潛力，埃爾思科技於 2020 年成功獲得高雄市政府 SBIR 計畫補助，投入探針量測系統相關耗材的研發。同年，更榮獲經濟部SBIR創業概念海選計畫明星組Stage 1的肯定，展現初創階段的技術潛力與市場前景。延續研發成果，埃爾思於2021年再度脫穎而出，獲得經濟部創新擇優Stage 2計畫中「技術創新突破類」補助，全國僅有14個案件入選，顯示其技術領先地位。 在KO-IN智高點「BD天堂路」陪跑輔導計畫的支持下，埃爾思更進一步獲得國發基金天使基金的投資，正式啟動新世代離子光源技術的商業化開發與應用推廣，並與國際FIB設備大廠展開合作，共同推動新一代FIB系統的研發與市場布局。

卓越成果一覽

單原子離子光源縮小至0.3奈米

傳統 FIB 的光源是液態金屬離子源，其光源尺寸約為50奈米，埃爾思成功研發光源尺寸僅有單顆原子大小（約0.3 奈米）的單原子離子光源，具有最高亮度，是世界最尖端的帶電粒子束光源科技，可突破 FIB 分辨率瓶頸，大幅改進 FIB 的材料移除分辨率。

奈米／微米探針製造技術突破

Nano Probing系統，是目前先進半導體製程中進行電性量測的重要工具，需要使用奈米尺度的金屬針尖對樣品進行接觸式量測，大量應用於研發與故障分析，奈米探針是此設備的主要耗材。當製程進入10奈米以下，所需要使用的探針規格要求越來越高，埃爾思能提供業界最高規格之奈米探針（針尖曲率半徑小於3奈米）， 滿足 10 nm 以下製程故障分析，能勝任最先進半導體製程的故障分析需求。

客製化金屬尖針

埃爾思科技藉由獨家製針技術，可依客戶需求調整探針直徑、針尖曲率、針尖錐角，為客戶提供各種不同規格的金屬探針，適用多樣電性測試與點測應用，以滿足未來生產線上多樣化的點測需求。

埃爾思科技憑藉著傑出的科研技術，專注於創新研發，從學研出發、跨入全球半導體設備市場，成為少數能將學術科研成果成功商業化的新創企業，更是半導體產業的明星級科技公司與創新範例，同時也向全球展現台灣成功將學研成果轉化為實際商業化的實力。