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埃爾思科技股份有限公司

Atomic Level Emission Source (ALES) 埃爾思，意指原子尺寸的場發射光源，也是本公司的核心技術【單原子針科技】。單原子針可用於場發射電子束或離子束，原子尺寸的電子或離子光源具有最高亮度，是世界最尖端的帶電粒子束光源科技，能夠增進半導體相關製程/檢測設備的解析度。埃爾思科技致力於提升離子光源的性能，發展相關專利技術，於此同時，也衍生出許多金屬針尖形貌調變技術。埃爾思利用這些衍生技術，發展出奈米探針、微米探針、掃描探針顯微鏡（STM）探針等產品。其中，應用於先進半導體製程電性量測的奈米探針量測系統（Nano Probing），需要使用奈米尺度的金屬針尖對樣品進行接觸式量測，埃爾思科技能提供業界最高規格的奈米探針。